증착 가능 물질 ( *금액은 상담 이후 결정됩니다.)
| Chamber | Materials | MFC Settings |
|---|---|---|
| 1 | Cu, Al, Mo, C, W, Ti, Au |
Ar , O₂ , N₂ |
| 2 | GeS₂, Sn, Te, Se | Ar |
| 3 | Pt, Ag, Ti, GeS₂, CuTe, TiN |
Ar, O₂ |
| 4 | IGZO, W | Ar , O₂ , N₂ |
| 5 | GeSe₂, GeS₂, GeTe₂ | Ar , O₂ , N₂ |
| 6 | HfO₂, Ru, Al, TiN, Ti |
Ar , O₂ , N₂ |